Laser:

• CO₂-Laser, 120 W
• Nd-YAG-Laser, 12 W
• Nd-YAG-Laser, 60 W
• Schweiß-Laser LSW 4001
• 3D-micromac microCUTms10.6 mit zwei Laserquellen
  (CO₂-Laser, 200 W + Faser-Laser, 20 W)

Mikrokontaktierung:

• Ultraschall- und Thermosonic-Drahtbonder F&K Delvotec 56xx
• Drahtbonder MDB 11 und RDB 50 (US)
• Flip-Chip-Bonder
• Fineplacer

Pull/Shear-Tester:

• Dage BT Series-4000P
• XYZTec
• Aufbau für Scherversuche mit hohen Beschleunigungen