TUD

    
 
TU Dresden » IAVT/ZµP » Forschung » Leistungen » Herstellen » Plasma-Behandlung
Deutsch English
 

Plasma-Behandlung

Leistungen

  • Reinigung bzw. Aktivierung von Bondkontaktoberflächen
  • Plasmareinigung von Klebkontaktflächen (Cu, Au, etc.) von organischen Verunreinigungen
  • Oberflächenaktivierung und anschließende Passivierung zum flussmittelfreien Reflowlöten an Festlotdepot-Substraten (Löten vor Ort möglich)

Equipment

  • Plasmareinigungs- und -aktivierungsanlage DREVA CLEAN 450
    • Rezipientengröße: 450 mm x 450 mm x 480 mm
    • HF-Leistung: max. 600 W
    • Druckbereich: 0,20 ... 0,50 mBar
    • Behandlungszeiten: 2 ...15 min (je nach Oberflächenbeschaffenheit)
    • max. Probengröße: 260 mm x 300 mm
    • Gase: Luft, O2, Ar, CF4
    • Losgröße: max. 10 Substrate

Kontakt

  • Dr.-Ing. Angelika Paproth
    Tel.: (0351) 463 33007
    Fax: (0351) 463 37035
    Email senden
Stand: 30.06.2011 13:21