TUD

    
 
TU Dresden » IAVT/ZµP » Forschung » Leistungen » Herstellen » Präzisions-Trennen
Deutsch English
 

Präzisions-Trennen

Leistungen

  • Präzisionstrennen von Halbzeugen, Produkten und Laborproben der Elektronik und Mikrotechnik

Equipment

  • Wafersäge DISCO DAD 321
    • Programmierbare Drehzahl von (3.000–40.000) U/min
    • Sägegeschwindigkeit (0,1-300) mm/s
    • max. Werkstückgröße 160 mm x 160 mm
    • Genauigkeit in x- und y-Richtung 5 µm, in z-Richtung 1 µm
Stand: 10.09.2010 20:49