- Präzisionstrennen von Halbzeugen, Produkten und Laborproben der Elektronik und Mikrotechnik
- Wafersäge DISCO DAD 321
- Programmierbare Drehzahl von (3.000–40.000) U/min
- Sägegeschwindigkeit (0,1-300) mm/s
- max. Werkstückgröße 160 mm x 160 mm
- Genauigkeit in x- und y-Richtung 5 µm, in z-Richtung 1 µm