• Volumenanalyse und –rekonstruktion von elektronischen Bauelementen und Baugruppenteilen

Röntgendiagnostik für die Aufbau- und Verbindungstechnik der Elektronik (PDF-Download)

Geräteprinzipien

• Röntgen-CT-Anlage nanotom
• offene nanofocus-Röhre mit Wolframtarget
• Beschleunigungsspannung: 10 – 180kV / 15W
• Strahlstrom: 5 – 1.000µA
• Präzisionsmanipulator auf Granitbasis
• hochauflösender Digitaldetektor mit 2.400 x 2.400 Pixel, 12 Bit
• Pixelgröße: 50µm x 50µm
• minimale Voxelgröße: < (500nm x 500nm x 500nm)
• geometrische Vergrößerung: 1,7-fach…1.000-fach
• maximale Probengröße / -masse: h = 150mm, d = 120mm, m = 1kg